| Энциклопедия |
| Конференции, симпозиумы |
| Подписка и отписка на новости |
| Научные институты |
| Статьи, рефераты |
| Аннотации журналов |
| Правила для авторов |
| Поиск по сайту |
| Контакты |
| Добавить статью, новость |
| Подписка на журнал |
| Тонкие нанонити помогут при производстве трехмерных чипов |
|
| 20.03.2009 г. | |
|
Чем дальше развивается наноэлектроника, тем больше технологических проблем появляется у инженеров. Одна из них – эффективное производство трехмерных компьютерных чипов. Но, похоже, нанотехнологии нашли решение этой проблемы. Исследователи из Политехнического Института Ренсслеера разработали новый метод выращивания медных нанонитей. Как говорят ученые, матрицы нанонитей могут послужить в будущем в качестве основы для чипов с трехмерной компоновкой элементов. Рис. 1. Матрица медных нанонитей Что интересно, матрица тонких медных нанонитей «слипается» при небольшой температуре – около 300ºС. Это сравнительно немного для использования нанонитей в качестве «строительных лесов» трехмерных компьютерных чипов с пространственным расположением элементов. Также нанонити могут послужить отличным термодетектором.
«Когда производишь и собираешь электронные 3D чипы, в момент сведения двух кремниевых пластин требуется наиболее низкая возможная температура, чтобы не повредить полупроводниковые приборы, – говорит Пей-И Вон (Pei-I Wang), один из исследователей. – Поэтому медные нанонити как нельзя лучше подходят на роль строительных лесов. Благодаря их маленьком диаметру нужно затратить на их сплавливание намного меньше энергии, и, следовательно, меньшую температуру при производстве подложки с транзисторами». Экспериментальные трехмерные чипы состоят из нескольких слоев компонентов. Вон говорит, что эти слои можно покрыть медными нанонитями. После разогрева до 300ºС они сплавляются в тонкий слой, соединяя между собой две подложки. Экспериментально это уже проверено учеными. Матрицу медных нанонитей удалось создать, периодически прерывая процесс их роста. Осаждение в паровой среде (CVD технология) частично останавливалось, и частицы меди, находящиеся во взвешенном состоянии, окислялись. В результате учеными были получены нити диаметром от 10 до 50 нанометров. Обычный процесс выращивания обеспечивает 100-нанометровые нанонити, что достаточно много для использования в 3D чипах. Само нанесение проходит под определенным углом, что также позволяет выращивать не только тонкие, но и высокие леса из нанонитей. Как говорит Вон, чем чаще прерывается процесс CVD, тем тоньше получаются медные нанонити. Сейчас Вон и его коллеги собираются запатентовать процесс производства нанонитей.
|
