СВОЙСТВА МНОГОСЛОЙНЫХ ZnO:Ga/Ag/ZnO:Ga ПОКРЫТИЙ, НАНОСИМЫХ МАГНЕТРОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ |
10.09.2010 г. | |
СВОЙСТВА МНОГОСЛОЙНЫХ ZnO:Ga/Ag/ZnO:Ga ПОКРЫТИЙ, НАНОСИМЫХ МАГНЕТРОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМА. А. Соловьев, Н. С. Сочугов, К. В. Оскомов, Н. А. ЗахаровИнститут сильноточной электроники СО РАН 634055, Томск, Академический просп., 2/3Поступила в редакцию 16.03.2009 г.Методами Ван-дер-Пау, спектрометрии и атомно-силовой микроскопии исследованы оптические и электрофизические свойства многослойных ZnO:Ga/Ag/ZnO:Ga покрытий, наносимых методом магнетронного распыления. Исследовано влияние толщины слоев покрытия на поверхностное сопротивление, прозрачность и отражение многослойной структуры в видимом и инфракрасном диапазонах длин волн. Исследована морфология поверхности и стойкость покрытий к воздействию влаги. Показано, что покрытия ZnO:Ga/Ag/ZnO:Ga обладают высокой прозрачностью в видимом диапазоне Т = 90%, большим коэффициентом отражения в ИК-области спектра R = 93% и малым поверхностным сопротивлением Rп = 4.88 Ом/□. При этом, как показали исследования на влагостойкость, покрытия со структурой ZnO:Ga(25 нм)/Ag(15 нм)/ZnO:Ga (75 нм) обладают наибольшим сопротивлением к деградации, вызванной воздействием влаги, и не претерпевают изменений после тестирования, что может использоваться в качестве эффективного способа защиты пленок серебра от деградации. Список литературы
|