Нанолитография
18.09.2010 г.

Image

Ученые из Технологического института Джорджии разработали метод нанолитографии, способный создавать печатные схемы высокого разрешения с печатью как минимум тремя химическими «красками» со скоростью вплоть до миллиметра в секунду. Печать схем можно запрограммировать заранее на любую желаемую форму; они достаточно стабильны, могут храниться на протяжении недель и затем использоваться где угодно.

Используя сканирующий атомно-силовой микроскоп, ученые нагревают тонкий кремниевый наконечник и передвигают его над тонкой полимерной пленкой. Тепло от микроскопа вызывает местную химическую реакцию на поверхности пленки. Реакция меняет химическую активность пленки, и та из химически инертной поверхности превращается в активную, способную выборочным образом прикреплять наносимые на нее молекулы, что и происходит при погружении в соответствующий раствор. Печать в несколько «красок» получается поочередным вычерчиванием нужных нанорисунков на пленке и ее погружением в разные растворы.

Впервые эта же исследовательская группа предложила метод термохимической нанолитографии (ТХНЛ) еще в 2007 г.; теперь, будучи существенно доработанным, он может стать исключительно полезным инструментом.

Журнал "Российские нанотехнологии" № 1-2 2010 год.