Интерферометр Маха-Зандера

Материал из m-protect.ru

Перейти к: навигация, поиск

Интерферометр Маха Зандера, принадлежит, как и интерферометр Майкельсона, к типу двухлучевых приборов. Главным конструктивным отличием простейшего интерферометра от интерферометра Майкельсона является отсутствие в нем зеркал, отражающих свет, распространяющийся в каждом плече световода до торца световода. Интерферометр легко может быть изготовлен методами, применяемыми в производстве интегрально-оптических схем, иметь очень малые размеры, точно регулироваться в процессе производства. Последнее обстоятельство весьма существенно для того, чтобы поставляемые промышленными предприятиями в большом числе интерферометры могли применяться во многих сенсорных устройствах различного назначения.

В связи с распространением интегрально-оптических компонентов в световодной технике в настоящее время многими зарубежными фирмами уделяется особенно большое внимание интерферометрам в таком исполнении. Выпускается даже ряд модулей, содержащих в одной плате миниатюрные источники излучения, фотоприемники, различные соединители, переключатели света и интерферометры изготовленные по планарной технологии. При изготовлении прецизионных интегрально-оптических схем с интерферометрами выполненными по планарной технологии, необходимо обеспечивать высокую точность выполнения ряда технологических операций, в первую очередь операций подготовки кристаллов ниобата лития, служащих подложками схем, и получения на них планарных световодов. Так, например, перед формированием в подложке методом термической диффузии (6 ч выдержки при 1000 °С) легированных титаном областей (полосок шириною около 4 мкм) необходимо применять электронолитографию, пользуясь пучком электронов диаметром не более 0,1 мкм, а на поверхность ниобата лития предварительно наносить слой титана. Даже небольшие нарушения технологического процесса изготовления планарных световодов могут приводить к значительному дисбалансу параметров опорного и измерительного плеч интерферометра. Непосредственными причинами дисбаланса могут быть нарушения заданной конфигурации элементов интерферометра, допусков на размеры планарных световодов и др.

Личные инструменты