Лазерно-интерференционная литография

Материал из m-protect.ru

Перейти к: навигация, поиск

Лазерно-интерференционная литография (ЛИЛ) метод производства с использованием лазеров высокой интенсивности, метод записи структур большой площади с разрешением много выше 5 нм без применения резиста.

Личные инструменты