Литография наносферами

Материал из m-protect.ru

Перейти к: навигация, поиск

Литография наносферами - метод нанопроизводства, при котором маленькие сферы наноскопических размеров используются для формирования узора на поверхности, который затем применяется как маска для блокирования некоторых областей поверхности в ходе последующего осаждения наноматериала из газообразной фазы. Литография наносферами привлекает возможностью наносить на подложку несколько слоев наночастиц, то есть создавать трехмерные нанообъекты.

Личные инструменты