Спектральная эллипсометрия
Материал из m-protect.ru
Спектральная эллипсометрия применяется для исследования физико-химических свойств поверхности и многослойных тонкопленочных структур и позволяет решать такие задачи как:
- измерение спектров оптических постоянных материалов, в том числе тонких пленок;
- изучение структурных свойств тонких пленок и межфазных границ;
- определение толщин и физических характеристик многослойных структур.