Электронно-лучевая литография

Материал из m-protect.ru

Перейти к: навигация, поиск

Электронно-лучевая литография - метод производства, в которой пучок электронов используется для формирования структур на поверхности. Широко применяется для получения больших наноструктур.

Личные инструменты