Эллипсометр высокого пространственного разрешения

Материал из m-protect.ru

Перейти к: навигация, поиск

Эллипсометр высокого пространственного разрешения предназначен для измерения оптических параметров поверхности микрообъектов и исследования поверхностных микроструктур с высоким временным разрешением. Эллипсометр используется при изучении образцов, свойства которых неоднородны по площади. Это могут быть слои неоднородной толщины, различные дефекты или включения, выходящие на поверхность, наконец структуры, полученные целенаправленным воздействием на образец (например фотолитографией).

Принцип действия прибора основан на измерении состояния поляризации света, отраженного от поверхности образца с последующим определением на основе этих измерений оптических параметров поверхности и пленочных структур.

См. также

Личные инструменты