Нанопечатная литография

Материал из m-protect.ru

В методе нанопечатной литографии изображение образуется в основном за счёт физической деформации резиста прессформой (штампом), а не за счёт модификации химической структуры резиста облучением, как в обычной литографии. Это принципиальное различие освобождает НЛП от многих проблем, связанных со стандартными методами литографии (диффузионный предел, рассеяние и химические процессы). В результате с помощью НЛП можно недорого и с высоким выходом получать структуры размером менее 10 нм на больших площадях, что недоступно для всех существующих методов литографии.