Оптическая нанолитография

Материал из m-protect.ru

Перейти к: навигация, поиск

В оптической нанолитографии используется 2 лазера. Первый из них – генерирует непрерывное излучение с длиной волны 1064 мкм и является пучком- ловушкой. Это излучение проходит через линзу-аксикон и и формируется в пучок бесселевой формы, который затем расщепляется в четыре параллельных пучка при помощи двух интерферометров Маха-Зандера. Мощность каждого из бесселевых пучков имеет порядок 150 мВт и используется для захвата одиночной сферической линзы диаметром 0,76 мкм.

Рабочий лазер генерирует импульсное излучение на длине волны 355 нм; длина импульсов имеет порядок 15 нс, энергия каждого из импульсов – в пределах 150 нДж – 8 мкДж. Пучок проходит через микросферы и попадает на подложку. Запись изображения производится перемещением подложки относительно оптических ловушек.

Личные инструменты