Сканирующая Емкостная Микроскопия
Материал из m-protect.ru
Сканирующая Емкостная Микроскопия является разновидностью электросиловой микроскопии. В общем случае в ЭСМ на кантилевер подается смещение Vtip=Vdc + Vac sin(wt), где Vac ответственно за возбуждение колебаний. Сканирование проводится на некоторой высоте h над поверхностью образца в соответствии с рельефом, определенным на первом проходе с использованием Прерывисто-контактного Метода. Емкостная сила Fcap(z) взаимодействия между зондом и поверхностью образца, находящейся при потенциале Vs, равна
Fcap(z) =(1/2) (Vtip - Vs)2(dC/dz)
где C(z) – емкость зонд-образец, зависящая от геометрии зонда, рельефа поверхности и величины зазора зонд-образец z. Вторая гармоника емкостной силы зависит только от (dC/dz) и Vac
Fcap2w(z) =(1/2)(dC/dz) Vac2sin(2wt)
и может быть использована для получения дополнительной информации, например, распределения поверхностной емкости по образцу. Для увеличения амплитуды колебаний на второй гармонике частота w выбирается равной половине резонансной частоты кантилевера wr.