Спектральная эллипсометрия

Материал из m-protect.ru

Перейти к: навигация, поиск

Спектральная эллипсометрия применяется для исследования физико-химических свойств поверхности и многослойных тонкопленочных структур и позволяет решать такие задачи как:

  • измерение спектров оптических постоянных материалов, в том числе тонких пленок;
  • изучение структурных свойств тонких пленок и межфазных границ;
  • определение толщин и физических характеристик многослойных структур.

См. также

Личные инструменты