Спектральная эллипсометрия

Материал из m-protect.ru

Версия от 09:28, 13 марта 2009; Denis (Обсуждение | вклад)
(разн.) ← Предыдущая | Текущая версия (разн.) | Следующая → (разн.)
Перейти к: навигация, поиск

Спектральная эллипсометрия применяется для исследования физико-химических свойств поверхности и многослойных тонкопленочных структур и позволяет решать такие задачи как:

  • измерение спектров оптических постоянных материалов, в том числе тонких пленок;
  • изучение структурных свойств тонких пленок и межфазных границ;
  • определение толщин и физических характеристик многослойных структур.

См. также

Личные инструменты