Спектральный эллипсометр

Материал из m-protect.ru

Спектральный эллипсометр предназначен для прецизионных измерений толщин тонких пленок, оптических параметров тонкопленочных структур и спектральных зависимостей оптических констант поверхностей различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков и др.), в том числе анизотропных и жидких.

См. также

• Эллипсометрия
• Инфракрасный спектроскопический эллипсометр
• Спектральная эллипсометрия