EUV-литография

Материал из m-protect.ru

Перейти к: навигация, поиск

EUV-литография - (Extreme Ultra Violet) – литография в спектре жесткого ультрафиолета. EUV-литография является обычной оптической литографией, но с использованием излучения с длиной волны 11 - 14 нм и отражательными оптикой и фотошаблонами.

Личные инструменты