Лазерно-интерференционная литография

Материал из m-protect.ru

Версия от 21:42, 24 марта 2009; Denis (Обсуждение | вклад)
(разн.) ← Предыдущая | Текущая версия (разн.) | Следующая → (разн.)
Перейти к: навигация, поиск

Лазерно-интерференционная литография (ЛИЛ) метод производства с использованием лазеров высокой интенсивности, метод записи структур большой площади с разрешением много выше 5 нм без применения резиста.

Источник — «https://m-protect.ru/wiki/index.php/%D0%9B%D0%B0%D0%B7%D0%B5%D1%80%D0%BD%D0%BE-%D0%B8%D0%BD%D1%82%D0%B5%D1%80%D1%84%D0%B5%D1%80%D0%B5%D0%BD%D1%86%D0%B8%D0%BE%D0%BD%D0%BD%D0%B0%D1%8F_%D0%BB%D0%B8%D1%82%D0%BE%D0%B3%D1%80%D0%B0%D1%84%D0%B8%D1%8F»
Личные инструменты