Лазерно-интерференционная литография
Материал из m-protect.ru
(Различия между версиями)
Denis (Обсуждение | вклад)
(Новая: '''Лазерно-интерференционная литография''' (ЛИЛ) метод производства с использованием лазеров высокой и...)
Следующая правка →
Текущая версия
Лазерно-интерференционная литография (ЛИЛ) метод производства с использованием лазеров высокой интенсивности, метод записи структур большой площади с разрешением много выше 5 нм без применения резиста.
