Литография наносферами
Материал из m-protect.ru
(Различия между версиями)
Текущая версия (16:06, 24 февраля 2009) (просмотреть исходный код) |
|||
| Строка 2: | Строка 2: | ||
[[Категория:Нанотехнология]] | [[Категория:Нанотехнология]] | ||
| + | [[Категория:Нанолитография]] | ||
Текущая версия
Литография наносферами - метод нанопроизводства, при котором маленькие сферы наноскопических размеров используются для формирования узора на поверхности, который затем применяется как маска для блокирования некоторых областей поверхности в ходе последующего осаждения наноматериала из газообразной фазы. Литография наносферами привлекает возможностью наносить на подложку несколько слоев наночастиц, то есть создавать трехмерные нанообъекты.
