Оптическая нанолитография
Материал из m-protect.ru
(Новая: В оптической нанолитографии используется 2 лазера. Первый из них – генерирует непрерывное излучение ...) |
Текущая версия (08:22, 17 марта 2009) (просмотреть исходный код) |
||
| Строка 1: | Строка 1: | ||
| - | В оптической нанолитографии используется 2 лазера. Первый из них – генерирует непрерывное излучение с длиной волны 1064 мкм и является пучком- ловушкой. Это излучение проходит через линзу-аксикон и и формируется в пучок бесселевой формы, который затем расщепляется в четыре параллельных пучка при помощи двух интерферометров Маха-Зандера. Мощность каждого из бесселевых пучков имеет порядок 150 мВт и используется для захвата одиночной сферической линзы диаметром 0,76 мкм. | + | В '''оптической нанолитографии''' используется 2 лазера. Первый из них – генерирует непрерывное излучение с длиной волны 1064 мкм и является пучком- ловушкой. Это излучение проходит через линзу-аксикон и и формируется в пучок бесселевой формы, который затем расщепляется в четыре параллельных пучка при помощи двух [[Интерферометр Маха-Зандера|интерферометров Маха-Зандера]]. Мощность каждого из бесселевых пучков имеет порядок 150 мВт и используется для захвата одиночной сферической линзы диаметром 0,76 мкм. |
Рабочий лазер генерирует импульсное излучение на длине волны 355 нм; длина импульсов имеет порядок 15 нс, энергия каждого из импульсов – в пределах 150 нДж – 8 мкДж. Пучок проходит через микросферы и попадает на подложку. Запись изображения производится перемещением подложки относительно оптических ловушек. | Рабочий лазер генерирует импульсное излучение на длине волны 355 нм; длина импульсов имеет порядок 15 нс, энергия каждого из импульсов – в пределах 150 нДж – 8 мкДж. Пучок проходит через микросферы и попадает на подложку. Запись изображения производится перемещением подложки относительно оптических ловушек. | ||
Текущая версия
В оптической нанолитографии используется 2 лазера. Первый из них – генерирует непрерывное излучение с длиной волны 1064 мкм и является пучком- ловушкой. Это излучение проходит через линзу-аксикон и и формируется в пучок бесселевой формы, который затем расщепляется в четыре параллельных пучка при помощи двух интерферометров Маха-Зандера. Мощность каждого из бесселевых пучков имеет порядок 150 мВт и используется для захвата одиночной сферической линзы диаметром 0,76 мкм.
Рабочий лазер генерирует импульсное излучение на длине волны 355 нм; длина импульсов имеет порядок 15 нс, энергия каждого из импульсов – в пределах 150 нДж – 8 мкДж. Пучок проходит через микросферы и попадает на подложку. Запись изображения производится перемещением подложки относительно оптических ловушек.
