Рефлектометрия тонких пленок
Материал из m-protect.ru
Рефлектометрия тонких пленок - оптические свойства тонких пленок проистекают из процессов отражения и интерференции. Системы рефлектометрии позволяют измерять и анализировать пленки толщиной от нескольких нанометров до сотен микрометров. Методика позволяет измерять физические параметры и изучать свойства таких пленок, как атнибликовое, упрочняющее, защищающее от царапин покрытия оптических линз. Структурные задачи, решаемые методом рефлектометрии тонких пленок:
- Изучение свойств поверхности плёнки (параметры периодичности поверхностной структуры плёнок),
- Изучение структуры и толщины слоёв, образующих плёнку,
- Восстановление профиля плотности плёнки вдоль выбранных направлений.