Сканирующий электронный микроскоп
Материал из m-protect.ru
(Новая: Сканирующий электронный микроскоп'''Сканирующий электронный микроск...) |
Текущая версия (22:18, 9 февраля 2009) (просмотреть исходный код) |
||
Строка 5: | Строка 5: | ||
== Принцип работы == | == Принцип работы == | ||
Исследуемый образец в условиях промышленного вакуума сканируется сфокусированным электронным пучком средних энергий. В зависимости от механизма регистрирования сигнала различают несколько режимов работы сканирующего электронного микроскопа: режим отражённых электронов, режим вторичных электронов, режим катодолюминесценции и т. д. Разработанные методики позволяют исследовать не только свойства поверхности образца, но и визуализировать и получать информацию о свойствах подповерхностных структур. | Исследуемый образец в условиях промышленного вакуума сканируется сфокусированным электронным пучком средних энергий. В зависимости от механизма регистрирования сигнала различают несколько режимов работы сканирующего электронного микроскопа: режим отражённых электронов, режим вторичных электронов, режим катодолюминесценции и т. д. Разработанные методики позволяют исследовать не только свойства поверхности образца, но и визуализировать и получать информацию о свойствах подповерхностных структур. | ||
+ | |||
+ | ==См. также== | ||
+ | * [[Сканирующий атомно-силовой микроскоп]] | ||
+ | * [[Сканирующий туннельный микроскоп]] | ||
+ | * [[Электросиловая микроскопия]] | ||
+ | * [[Магнитно-силовая микроскопия]] | ||
+ | * [[Оптическая микроскопия]] | ||
+ | * [[Электронный микроскоп]] | ||
+ | |||
+ | [[Category:Приборы физико-химических исследований]] | ||
+ | |||
+ | [[Category:Микроскопы]] |
Текущая версия
Сканирующий электронный микроскоп (англ. Scanning Electron Microscope, SEM) — прибор, позволяющий получать изображения поверхности образца с большим разрешением (менее микрометра). Ряд дополнительных методов позволяет получать информацию о химическом составе приповерхностных слоёв.Сканирующие микроскопы применяются в первую очередь как исследовательский инструмент в физике, электронике, биологии. В основном это получение картинки исследуемого образца, которая может сильно меняться в зависимости от применяемого типа детектора. Эти различия позволяют делать вывод о физике поверхности, проводить исследование рельефа поверхности. Электронный микроскоп практически единственный прибор, который может дать изображение поверхности современной микросхемы или промежуточной стадии фотолитографического процесса.
Принцип работы
Исследуемый образец в условиях промышленного вакуума сканируется сфокусированным электронным пучком средних энергий. В зависимости от механизма регистрирования сигнала различают несколько режимов работы сканирующего электронного микроскопа: режим отражённых электронов, режим вторичных электронов, режим катодолюминесценции и т. д. Разработанные методики позволяют исследовать не только свойства поверхности образца, но и визуализировать и получать информацию о свойствах подповерхностных структур.