Спектральный эллипсометр

Материал из m-protect.ru

Версия 09:01, 13 марта 2009 (просмотреть исходный код) Denis (Обсуждение | вклад) (Новая: Спектральный эллипсометр "Эллипс-1891"'''Спектральный эллипсометр''' пред...) ← Предыдущая правка		Версия 09:25, 13 марта 2009 (просмотреть исходный код) Denis (Обсуждение | вклад) Следующая правка →
Строка 3:		Строка 3:
	==См. также==		==См. также==
	* [[Эллипсометрия]]		* [[Эллипсометрия]]
		+	* [[Инфракрасный спектроскопический эллипсометр]]
		+	* [[Спектральная эллипсометрия]]
	[[Категория:Эллипсометрия]]		[[Категория:Эллипсометрия]]
	[[Категория:Приборы физико-химических исследований]]		[[Категория:Приборы физико-химических исследований]]

---

Версия 09:25, 13 марта 2009

Спектральный эллипсометр предназначен для прецизионных измерений толщин тонких пленок, оптических параметров тонкопленочных структур и спектральных зависимостей оптических констант поверхностей различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков и др.), в том числе анизотропных и жидких.

См. также

• Эллипсометрия
• Инфракрасный спектроскопический эллипсометр
• Спектральная эллипсометрия