EUV-литография

Материал из m-protect.ru

Версия 22:14, 13 апреля 2009 (просмотреть исходный код) 217.172.24.109 (Обсуждение) (Новая: '''EUV-литография''' - (Extreme Ultra Violet) – литография в спектре жесткого ультрафиолета. EUV-литография является ...) ← Предыдущая правка

Текущая версия (22:14, 13 апреля 2009) (просмотреть исходный код) 217.172.24.109 (Обсуждение) (Новая: '''EUV-литография''' - (Extreme Ultra Violet) – литография в спектре жесткого ультрафиолета. EUV-литография является ...)

---

Текущая версия

EUV-литография - (Extreme Ultra Violet) – литография в спектре жесткого ультрафиолета. EUV-литография является обычной оптической литографией, но с использованием излучения с длиной волны 11 - 14 нм и отражательными оптикой и фотошаблонами.