EUV-литография
Материал из m-protect.ru
(Различия между версиями)
217.172.24.109 (Обсуждение)
(Новая: '''EUV-литография''' - (Extreme Ultra Violet) – литография в спектре жесткого ультрафиолета. EUV-литография является ...)
Следующая правка →
Текущая версия
EUV-литография - (Extreme Ultra Violet) – литография в спектре жесткого ультрафиолета. EUV-литография является обычной оптической литографией, но с использованием излучения с длиной волны 11 - 14 нм и отражательными оптикой и фотошаблонами.
