EUV-литография

Материал из m-protect.ru

Версия от 22:14, 13 апреля 2009; 217.172.24.109 (Обсуждение)
(разн.) ← Предыдущая | Текущая версия (разн.) | Следующая → (разн.)
Перейти к: навигация, поиск

EUV-литография - (Extreme Ultra Violet) – литография в спектре жесткого ультрафиолета. EUV-литография является обычной оптической литографией, но с использованием излучения с длиной волны 11 - 14 нм и отражательными оптикой и фотошаблонами.

Источник — «https://m-protect.ru/wiki/index.php/EUV-%D0%BB%D0%B8%D1%82%D0%BE%D0%B3%D1%80%D0%B0%D1%84%D0%B8%D1%8F»
Личные инструменты