Электронно-лучевая литография

Материал из m-protect.ru

Версия от 16:11, 24 февраля 2009; Denis (Обсуждение | вклад)
(разн.) ← Предыдущая | Текущая версия (разн.) | Следующая → (разн.)
Перейти к: навигация, поиск

Электронно-лучевая литография - метод производства, в которой пучок электронов используется для формирования структур на поверхности. Широко применяется для получения больших наноструктур.

Источник — «http://m-protect.ru/wiki/index.php/%D0%AD%D0%BB%D0%B5%D0%BA%D1%82%D1%80%D0%BE%D0%BD%D0%BD%D0%BE-%D0%BB%D1%83%D1%87%D0%B5%D0%B2%D0%B0%D1%8F_%D0%BB%D0%B8%D1%82%D0%BE%D0%B3%D1%80%D0%B0%D1%84%D0%B8%D1%8F»
Личные инструменты