Эллипсометр высокого пространственного разрешения

Материал из m-protect.ru

Версия от 09:23, 13 марта 2009; Denis (Обсуждение | вклад)
(разн.) ← Предыдущая | Текущая версия (разн.) | Следующая → (разн.)
Перейти к: навигация, поиск

Эллипсометр высокого пространственного разрешения предназначен для измерения оптических параметров поверхности микрообъектов и исследования поверхностных микроструктур с высоким временным разрешением.

Принцип действия прибора основан на измерении состояния поляризации света, отраженного от поверхности образца с последующим определением на основе этих измерений оптических параметров поверхности и пленочных структур.

См. также

Источник — «http://m-protect.ru/wiki/index.php/%D0%AD%D0%BB%D0%BB%D0%B8%D0%BF%D1%81%D0%BE%D0%BC%D0%B5%D1%82%D1%80_%D0%B2%D1%8B%D1%81%D0%BE%D0%BA%D0%BE%D0%B3%D0%BE_%D0%BF%D1%80%D0%BE%D1%81%D1%82%D1%80%D0%B0%D0%BD%D1%81%D1%82%D0%B2%D0%B5%D0%BD%D0%BD%D0%BE%D0%B3%D0%BE_%D1%80%D0%B0%D0%B7%D1%80%D0%B5%D1%88%D0%B5%D0%BD%D0%B8%D1%8F»
Личные инструменты